DOI 10.31554/978-5-7925-0524-7-2018-21-25
КИНЕТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ФОРМИРОВАНИЯ ОБЪЕМНОГО РАЗРЯДА НА ЛЕВОЙ ВЕТВИ КРИВОЙ ПАШЕНА С КАТОДНЫМ ИНИЦИИРОВАНИЕМ ПРОБОЯ
А.В. Козырев, Ю.Д. Королев, Н.С. Семенюк
Институт сильноточной электроники СО РАН
634055 Томск, Россия
e-mail: kozyrev@to.hcei.tsc.ru
На базе кинетического описания электронной компоненты плазмы в разряде низкого давления демонстрируется физический механизм формирования объемной структуры разряда с отрицательным анодным падением. Подробно показаны самосогласованные процессы генерации плазмы и формирования профиля электрического потенциала в промежутке после инжекции электронов с катодной поверхности. Показано, что накопление ионов в промежутке сопровождается формированием немонотонного распределения потенциала и последующего заполнения образовавшейся потенциальной ямы горячими термализованными электронами. Моделирование позволяет проследить за всеми деталями этого процесса, а также рассчитать время формирования разряда и функцию распределения электронов по энергиям в плазме.
