ГЕНЕРАЦИЯ ПЛАЗМЫ В НЕСАМОСТОЯТЕЛЬНОМ ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ С ПОЛЫМ КАТОДОМ ДЛЯ ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ВНУТРЕННЕЙ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛОСТЕЙ ПРОТЯЖЕННОЙ И СЛОЖНОЙ ФОРМЫ

DOI 10.31554/978-5-7925-0524-7-2018-65-69

ГЕНЕРАЦИЯ ПЛАЗМЫ В НЕСАМОСТОЯТЕЛЬНОМ ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ С ПОЛЫМ КАТОДОМ ДЛЯ ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ВНУТРЕННЕЙ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛОСТЕЙ ПРОТЯЖЕННОЙ И СЛОЖНОЙ ФОРМЫ

Д.Ю. Игнатов*, И.В. Лопатин, В.В. Денисов, О.В. Крысина, Ю.Х. Ахмадеев, Н.Н. Коваль

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук
Россия, г. Томск, пр. Академический 2/3
*e-mail: danilabay29@ya.ru

Разработан метод обработки внутренних полостей протяжѐнных изделий криволинейной формы. Для генерации плазмы при низком давлении (0.5-1 Па) использовалась двухступенчатая система, где основной несамостоятельный тлеющий разряд с полым катодом генерировал рабочую плазму в обрабатываемой полости, а плазма вспомогательного разряда, создаваемая плазмогенератором «ПИНК», являлась источником электронов для стабильного зажигания и горения основного разряда. В данной системе были исследованы основные характеристики несамостоятельного тлеющего разряда, найдены режимы горения разряда с наилучшей однородностью распределения температуры по длине протяжѐнного трубопровода. Проведѐн процесс азотирования и получен модифицированный слой толщиной до 64 мкм с увеличенной более чем в 2 раза твѐрдостью на поверхности. Показана принципиальная возможность генерации плазмы несамостоятельного тлеющего разряда в полости протяжѐнных изделий криволинейной формы, с достижением хорошего распределения однородности температуры по длине полости.